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应用领域
★ PI表面粗化及清洁
★ PCB孔内除胶、表面清洁
★ FPC孔内除胶、表面清洁
★ 电子材料表面粗化、清洁
★ COVERLY表面粗化、清洁
产品特点
★ 特殊气体进气、扩散及抽气系统设计
★ 合理的等离子反应空间，处理之均匀性佳
★ 多种制程气体的使用
★ 全自动简单易操作设备稳定性高，易维护
★可根据客户需求定制专用规格机台
产品规格
设备尺寸/Machine Size | 2510(W)*1665(D)*2090(H)mm |
真空腔体尺寸 | 1340(W)*1570(D)*1240(H)mm |
电极有效尺寸 | 25"*44" |
输 出 功 率 | 10KW |
输出频率 | 40KHz |
电 力 | 380VAC/100A/3PH/50Hz |
可加载气体 | 四种 (O2,N2,CF4,H2) |
温度监测系统 | |
冰水机/Chiller | |
真空泵浦 | |
台车 |